<code id="cvm75"></code><center id="cvm75"></center>
      1. <pre id="cvm75"><ol id="cvm75"></ol></pre>

      2. 首页 > 产品中心 > Trion等离子沉积,刻蚀
        • Titan系统
        Trion创建于1989年,是一家等离子刻蚀与沉积系统制造商
        Trion为化合物半导体、MEMS(微机电系统)、光电器件以及其他半导体市场提供多种设备。 产品占地面积小、成本低,可靠稳定。
        \
        Titan刻蚀/PECVD
        Titan是一套用于半导体生产的十分紧凑、全自动化、带预真空室的等离子系统。
        它具有反应离子刻蚀(RIE)配置、高密度电感耦合等离子沉积(HDICP)或等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)配置?啥缘ジ龌虼衅痰幕(3”-300mm尺寸)进行高级处理。它还具有多尺寸批处理功能。价格适宜且占地面积小。

        刻蚀应用:
        砷化镓、砷化铝镓、氮化镓、磷化铟、铝、硅化物、铬以及其他要求腐蚀性和非腐蚀性化学刻蚀的材料。

        沉积应用:
        二氧化硅、氮化硅、氮氧化物和其他各种材料。



        文件下载
        免费 成 人 黄 色 网 站