UEFC-4900和UEFC-5700
Temescal精密镀膜系统凝聚了Temescal的科学家用了十几年的时间致力于研究和理解蒸气流量云的动力学。通过无数次测试及研究，Temescal收集了大量蒸气云图，并利用这些云图实现蒸镀均匀性修正的自动化设计。而如今应用了Auratus薄膜沉积优化方法论的UEFC系列电子束蒸镀系统，可靠性更好。
这些UEFC系列电子束蒸镀系统具有圆锥形腔室设计，与传统的箱式腔室相比，减少了无用的腔室空间及表面积，缩短了抽真空的时间，也缓解了腔室内的薄膜碎片积累问题；这些系统还配置了Temescal的高均匀性Lift-off基片载具（HULA），采用精密的双轴运动，保障所有的晶圆在蒸气云的高密度区和低密度区停留相同的时间，从而使各种工艺材料在系统内都能获得优秀的沉积均匀性；这些系统继承了Temescal FC系列设备的腔室隔离真空锁设计，具有快的工艺周期、短的生产等待时间和高的工艺产出。
UEFC-5700和UEFC-4900，在150mm晶圆制造领域，具有很高的产能效率，并且可以帮助减少贵重蒸镀材料的消耗，节省用户材料成本。
