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THERMCO扩散,退火,LPCVD工艺炉
英国Thermco Systems公司成立于1962年，是一家专业的卧式扩散炉、氧化炉、退火炉、合金化炉及LPCVD炉的制造商，根据基片尺寸以及产量要求的不同，HTR系列可分为大批量生产型5100/5200系列（6英寸）、科研型2400系列（4英寸）/2600系列（6英寸）/2800系列（8英寸）等；可处理4"~10"的基片，每管处理能力分别可达25片、50片、100片及更多；根据配置不同的工艺气源及温度控制范围，各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。
